קו המוצרים החדש של SEMPA לאידוי מקדים המיועד למפעלי מיקרואלקטרוניקה (סמיקונדקטור).
משנת 2001, חברת SEMPA עונה על צרכי תעשיית המיקרואלקטרוניקה באמצעות מערכות אספקת גזים וכימיקלים. עם השנים החברה גדלה והתפתחה, צברה מוניטין של ספק מועדף ושותפה מובילה במגוון פרויקטים בגרמניה ומחוצה לה. כחלק מקבוצת מפטגון, מעניקה SEMPA מענה משלים ללקוחותיה באמצעות אנשי המקצוע המנוסים של שתי החברות, ברחבי העולם.
מענה מדוייק לצרכי הלקוח
חברת SEMPA פיתחה את VAPOR’BOT, מערכות אידוי מקדים, על מנת להעניק מענה משלים לצרכיה של תעשיית המיקרואלקטרוניקה (מוליכים למחצה).
טכנולוגיות האידוי המיושמות נעות בין מכשירי אידוי על פני מערכות Bubbler ועד ליחידות מתקדמות להזרקת נוזלים ישירה.
הפתרונות:
- CVD (Chemical vapor deposition) – שיקוע אדים כימי
- EPI (Epitaxial) – תהליך שיקוע או גידול קריסטלים של בורון או פוספורוס על פרוסות הסיליקון בכדי להכינם לתהליך ייצור המעבדים בתעשיית המוליכים למחצה
- (Atomic layer deposition) ALD – תהליך המאפשר גידול של שכבות דקות כגון קווי הולכה בתעשיית המוליכים למחצה
יתרונות הפתרונות:
- קצבי אידוי גבוהים במיוחד
- ריכוזים יציבים במיוחד
- גמישות גבוהה ביותר בקצבי הזרימה
- מערכת אוטומטית לחלוטין
- מערכת מותאמת לקווי יצור
- בטיחותי במיוחד לחומרים אורגנים רעילים
המערכת מגיעה ב-3 רמות המותאמות לסוג התעשיה ולתקציב– Smart, Pro, Expert
לפרטים נוספים ודפי מידע מפורטים: לחצו כאן